会社案内

インテグレーテッドマテリアルズは、高純度ポリシリコン製熱処理炉用治具（ファーネスウエア）の唯一の製造専門会社であり、この分野におけるテクノロジーリーダーです。

当社は、半導体製造会社が高温成膜および拡散プロセスに使用する熱処理炉用部品として、他にない優れた特質を備えた純度の高いポリシリコン製治具を製造するSiFusion™テクノロジー を開発、特許を取得しました。

1998年創立以来、インテグレーテッドマテリアルズは半導体熱処理プロセスの改良に焦点を当ててきました。熱処理工程におけるほとんどの問題は炉内でウェハを保持するために使用される治具に由来することに注目し、炉内部で使用される治具の改良がウェハの品質向上と工程コストの削減に大きく貢献すると考えました。

2004年には、お客様によるSiFusion製品の性能評価認定を開始し、2006年3月には、世界に向けてポリシリコン製熱処理炉用治具、SiFusion製品ファミリーの発売を開始しました。その時点で、既にSiFusion製品は北米の大手半導体製造会社にて、最良の治具（Tool of Record)と評価され、生産ラインにて使用されていました。