製品

SiFusion 熱処理炉用製品群

インテグレーテッドマテリアルズのSiFusion熱処理炉用の製品群は従来の石英およびシリコンカーバイドの消耗部品に比べ、はるかに優れた性能を発揮します。 SiFusion製品は全て高純度ポリシリコンで作られており、純度の高さ、低いメンテナンスの必要性、コストオブオーナーシップおよび環境への影響の面で最良の選択肢です。製品ラインには縦型炉プロセス200 mmと300 mmウェハ対応の部品がそろっております。 SiFusion熱処理炉用部品は、東京エレクトロン(TEL)、日立国際電気、アビザテクノロジー、ASMなど、全ての主要OEM熱処理炉のホットゾーンに取り付けられるよう設計製造されています。

SiFusion製品ライン：

熱処理炉アプリケーション：

高温処理
SiFusion治具は最高1350º Cに達する厳しい条件のプロセスでも変形することなく機能します。

LPCVDプロセス
SiFusion治具は実質的にはパーティクルの発生がなく、コストのかかる定期洗浄を減らし、洗浄に伴う有害な廃棄物を低減します。

その他のプロセス
SiFusion治具はアモルファスシリコンと高温酸化 (HTO)プロセスにも最適です。