製品ページ – ぺデスタル

SiFusionぺデスタルは拡散および熱処理の際に、ボートを保持する固定治具です。他のSiFusion製品と同様、ぺデスタルも石英およびシリコンカーバイドに代わる高純度で性能の優れた治具です。

SiFusionぺデスタルの特長：

• 150 mm、200 mm、300 mmウェハ用プロセスで実証されたパフォーマンス。
• 顧客仕様のスロット、レールおよびピッチ。
• 治具からのパーティクルが発生しない。
• 定期洗浄の必要がない。
• 高いスロットの精度 – 公差が変わらない。
• ボートが変形しない – ロボット再教示の必要がない。

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