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セグメント式大型直径のSiFusionリングボートは炉心管の壁に沿って赤外線エネルギーが移動するのを遮り、炉チャンバーのシールを保護します。赤外線を透過するため、「シャドウイング」による熱の遮断を低減し、ホットゾーン内を均一に加熱することができます。SiFusionリングボートはHTOプロセスに最適です。

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SiFusionプロダクトスイート

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