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SiFusionインジェクター は、拡散炉へプロセスガスを送入する固定治具として使用されます。

高い物理的強度 を持ち、最高1410ºC に達しても塑性変形を起こさないため、SiFusionインジェクターは石英およびシリコンカーバイド製品に代わる優れた治具です。

SiFusionインジェクターの特長：

• インジェクターからの突発パーティクルが発生しない。
• 稼動中に屈曲や破損を生じない。
• 顧客仕様で配置設定ができる。
• 赤外線を透過する – 熱の遮断を低減する。
• 耐用年数が長い。

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