SiFusion

製品ページ – ライナー

インジェクターおよびボートと共に使用されるSiFusionライナーは半導体熱処理炉の不可欠な部品です。ライナーは供給口から排出口までガスの流れの均一な経路を作り、外側の炉チューブからのパーティクルによって歩留りが低下するのを防ぐ防壁の役割を果たします。

石英とシリコンカーバイド製のライナーは通常年に4回洗浄を必要とするのに対し、SiFusionポリシリコン製ライナーは定期洗浄を必要としません。