強度の比較

シリコンカーバイドまたは石英に比べ、ポリシリコンの物理的特性は熱処理炉の工程に目覚しい利点をもたらします。

例えば、SiFusionポリシリコン製治具はシリコンウェハと同一の熱膨張率(CTE)を持つため、ウェハ裏面の引っ掻きをなくし、損傷を防ぐことができます。特許登録されたSiFusionポリシリコン製品は、治具によって起こるスリップ を低減し、ウェハの締め付けをなくし、ランプレートの増加と安定化時間の減少を図ることができます。

ポリシリコンはプロセスへの適合性において優れたソリューションを提供します：

• CTEの一致
• 硬度
• 単一材料構成
• 無孔性
• 無パーティクル、無フレーク状剥離
• 最高純度の人工物質(PPT)
• 高温安定性
• 赤外線透過性

General Strength Comparison